000			01355nam a2200325 a 4500
005			20250930123442.0
008			080118s2007 my da bm 000 0 may d
020			_cHadiah
039		9	_a201707131434 _blan _c201707121148 _dhendon _c200803271302 _dlaili _c200801221544 _dnorehan _y01-18-2008 _znorehan
040			_aUKM
090			_aTK7875.A366 2007 tesis
090			_aTK7875 _b.A366 2007
090			_aTK7875 _b.A366 2007 3
100	0		_aAhmad Alabqari Ma'radzi.
245	1	0	_aAkselerometer MEMS kapasitif dengan daya pengimbang elektrostatik untuk kegunaan G rendah / _cAhmad Alabqari bin Ma'radzi.
260			_aBangi, Selangor : _bInstitut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik, Universiti Kebangsaan Malaysia, _c2007.
300			_axxv, 210 p. : _bill. ; _c30 cm.
502			_aTesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2007.
504			_aRujukan : p. [201]-210.
610	2	0	_aUniversiti Kebangsaan Malaysia _xDissertations. _962865
650		0	_aDissertations, Academic _zMalaysia. _962866
650		0	_aMicroelectromechanical systems.
907			_a.b1404996x _b2025-07-18 _c2019-11-12
942			_c2 _n0 _kTK7875.A366 2007 tesis
914			_avtls003362168
990			_aNY/nms/ha
991			_aInstitut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik
998			_al _at _b2008-05-01 _cm _dx _fmay _gmy _y0 _z.b1404996x
999			_c401140 _d401140