TY  - BOOK
AU  - Siti Aisyah Zawawi,
TI  - Mikrofon kapasitif mems berasaskan silikon karbida (SiC) untuk aplikasi julat frekuensi ultrasonik
PY  - 2021///
KW  - Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Dissertations
KW  - Dissertations, Academic
KW  - Malaysia
KW  - Silicon carbide
N1  - In process - PL2; Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2021; Rujukan : mukasurat 180-196
ER  -