Mikrofon kapasitif mems berasaskan silikon karbida (SiC) untuk aplikasi julat frekuensi ultrasonik - Siti Aisyah Zawawi (2021)
In process - PL2
Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2021.
Rujukan : mukasurat 180-196.
Keywords: Universiti Kebangsaan Malaysia -- Dissertations; Dissertations, Academic -- Malaysia; Silicon carbide