TY - BOOK AU - Norliana Yusof, AU - Burhanuddin Yeop Majlis, AU - Badariah Bais, TI - Sensor tekanan grafin MEMS: keperluan diagnosis biomedik SN - 9786294861084 PY - 2023/// CY - Bangi, Selangor PB - Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia KW - BioMEMS KW - Microelectromechanical systems KW - Pressure transducers, Biomedical N1 - Includes bibliographical references ([179]-187) and index; Bab 1: Sensor tekanan LC-MEMS -- Bab 2: Teori dan aplikasi -- Bab 3: Spesifikasi dan pembangunan sensor -- Bab 4: Fabrikasi dan pencirian -- Bab 5: Prestasi dan kefungsian peranti -- Bab 6: Rekabentuk, simulasi dan pengoptimuman -- Bab 7: Potensi dan perspektif masa depan ER -