Includes bibliographical references ([179]-187) and index.
Bab 1: Sensor tekanan LC-MEMS -- Bab 2: Teori dan aplikasi -- Bab 3: Spesifikasi dan pembangunan sensor -- Bab 4: Fabrikasi dan pencirian -- Bab 5: Prestasi dan kefungsian peranti -- Bab 6: Rekabentuk, simulasi dan pengoptimuman -- Bab 7: Potensi dan perspektif masa depan.