Akselerometer mems : konsep dan reka bentuk untuk pecutan rendah, 1-10g - Azfir Manut; Burhanuddin Yeop Majlis (Bangi, Selangor : Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia, 2022)
Rujukan : mukasurat [193]-196.
Keywords: Microelectromechanical systems; Electromechanical devices