TY  - BOOK
AU  - Auliya,Rahmat Zaki
TI  - Reka bentuk dan simulasi mikrofon kapasitif MEMS menggunakan membran beralun dengan bahan terbenam
PY  - 2019///
KW  - Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Dissertations
KW  - Dissertations, Academic
KW  - Malaysia
KW  - Microelectromechanical systems
N1  - Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2019; Rujukan : mukasurat [78]-82
ER  -