Reka bentuk dan simulasi mikrofon kapasitif MEMS menggunakan membran beralun dengan bahan terbenam - Auliya, Rahmat Zaki (2019)
Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2019.
Rujukan : mukasurat [78]-82.
Keywords: Universiti Kebangsaan Malaysia -- Dissertations; Dissertations, Academic -- Malaysia; Microelectromechanical systems