Auliya, Rahmat Zaki,
Reka bentuk dan simulasi mikrofon kapasitif MEMS menggunakan membran beralun dengan bahan terbenam /
Rahmat Zaki Auliya HM.
- xiv, 82 pages : illustrations ; 30 cm.+ \e 1 computer optical discs (4 3/4 in.)
Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2019.
Rujukan : mukasurat [78]-82.
Hadiah.
Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations.
Dissertations, Academic--Malaysia.
Microelectromechanical systems.