Auliya, Rahmat Zaki,

Reka bentuk dan simulasi mikrofon kapasitif MEMS menggunakan membran beralun dengan bahan terbenam / Rahmat Zaki Auliya HM. - xiv, 82 pages : illustrations ; 30 cm.+ \e 1 computer optical discs (4 3/4 in.)

Tesis (Sarjana Sains) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2019.

Rujukan : mukasurat [78]-82.

Hadiah.


Universiti Kebangsaan Malaysia--Dissertations.


Dissertations, Academic--Malaysia.
Microelectromechanical systems.