TY - BOOK AU - Haslinawati Mohd Mustapha TI - Rekabentuk dan fabrikasi mikrofon kapasitif MEMS berdiafragma grafin-PMMA PY - 2019///© KW - Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Dissertations KW - Dissertations, Academic KW - Malaysia KW - Microphone KW - Microelectromechanical system N1 - Tesis (Ph.D) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2019; Rujukan : mukasurat 124-132 ER -