Sensor dan aktuator MEMS perkembangan & kegunaan / 
disunting oleh Burhanuddin Yeop Majlis. 
 - 293 pages :  illustrations ;  23 cm. 
<br/><br/>Includes bibliographical references : pages [269]-283) and index. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9789674126681  Hadiah 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microelectromechanical systems.<br/>Actuators.<br/>Detectors.