TY - BOOK AU - Norihan Abdul Hamid, TI - Pam mikro terma pneumatik dengan aktuator membran filem nipis polimid untuk kegunaan bioperubatan PY - 2014/// KW - Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Dissertations KW - Microelectromechanical systems KW - Nanostructured materials KW - BioMEMS KW - Dissertations, Academic KW - Malaysia N1 - Tesis (Ph.D.) - Universiti Kebangsaan Malaysia, 2014; Rujukan : mukasurat [206]-221 ER -