TY - BOOK AU - Burhanuddin Yeop Majlis, ED - Universiti Kebangsaan Malaysia. TI - MEMS dan nanoteknologi: tersangat kecil tetapi impaknya raksasa T2 - Syarahan Perdana / Universiti Kebangsaan Malaysia SN - 9789679428834 PY - 2008/// CY - Bangi PB - Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia KW - Microelectromechanical systems KW - Microelectronics KW - Nanotechnology N1 - Dipersembahkan sebagai Syarahan Perdana jawatan Profesor Universiti Kebangsaan Malaysia, pada 14 November 2008 di Bilik Senat, Universiti Kebangsaan Malaysia; Rujukan : p. [71]-74 ER -