TY  - BOOK
AU  - Burhanuddin Yeop Majlis,
TI  - Teknologi fabrikasi litar bersepadu
SN  - 9679424812
PY  - 2001///
CY  - Bangi
PB  - Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia
KW  - Semiconductors
KW  - Integrated circuits
KW  - Microelectronics
N1  - Bibliografi : p. [277-278]; Buku bacaan asas fakulti
ER  -