Burhanuddin Yeop Majlis,  Dato'. <br/><br/>
Teknologi fabrikasi litar bersepadu / 
Burhanuddin Yeop Majlis. 
 - Bangi :  Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia,  2001. 
 - 292 p. :  ill. ;  23 cm. 
 - Siri buku teks. .
<br/><br/>Bibliografi : p. [277-278] 
<br/><br/>
<br/><br/><label>ISBN: </label>9679424812  Hadiah 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductors.<br/>Integrated circuits.<br/>Microelectronics.